Simulazione elettromeccanica e la caratterizzazione funzionale di risuonatori MEMS e RF MEM switch
FBK-MEMS DIT-PRJ-10-066
Status NOT active project
DISI role Coordinator
Project type Industrial Project
Dimension Trentino
Acquisition date 2010-06-14
Start date 2010-06-14
End date 2010-10-30
Project details
Project astract La ricerca riguarda l'analisi di alcune geometrie di risuonatori meccanici, disegnate per la tecnologia FBK, tramite simulazione numerica con l'obiettivo di ottimizzare i dispositivi come sensori di stress/strain. Un secondo obiettivo della ricerca riguarda lo studio delle caratteristiche elettromeccaniche di RF MEM switch. In particolare saranno caratterizzati con simulazione numerica e misure sperimentali i meccanismi di rilascio basati su riscaldatori e i tempi di attuazione meccanici degli switch.
Fundings 8400 €